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超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體是什么

發(fā)布時(shí)間:2021-04-20 已經(jīng)有1人查過(guò)此文章 返回感應(yīng)加熱列表

超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體是什么?怎樣使用?

超音頻感應(yīng)加熱設(shè)備

超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體又稱感曼器(Susceptor),是一種能在磁場(chǎng)中加熱的材料,通過(guò)感熱體的熱傳導(dǎo)或輻射來(lái)加熱其包容性工件。其主要用于無(wú)法直接用于感應(yīng)加熱的工件,如半導(dǎo)體工業(yè)中硅、鍺、砷化鎵、氧化鋯等的高溫加熱,也有一些金屬絲由于直徑過(guò)細(xì),直接感應(yīng)加熱電效率過(guò)低,也可以用感熱體加熱。

 

石墨是制造超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體的常用材料,但石墨在高溫下容易氧化,因此應(yīng)在真空或環(huán)保環(huán)境中進(jìn)行。此外,感熱體可以由康奈合金、鉑、鉬、鎢和不銹鋼制成。

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超音頻感應(yīng)加熱電源感熱體有三種主要形式。熱傳感器將加熱部件和電磁場(chǎng)完全屏蔽,它依靠熱傳感器的輻射熱來(lái)加熱;熱傳感器沿長(zhǎng)度方向開(kāi)有縫隙,它既有直接來(lái)自感應(yīng)器的能量,又有來(lái)自感熱器的輻射熱;超音頻感應(yīng)加熱電源的熱傳感器是環(huán)形的,通常用于玻璃和玻璃或塑料之間的密封,在加熱過(guò)程中,玻璃或塑料與熱傳感器的接觸部分會(huì)軟化,加壓后,這個(gè)熱傳感器就成了一個(gè)整體。


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